发明 一种激光干涉位移测量装置及其使用方法
光学检测 激光测量 波长测量 精密测量 激光干涉仪 【光学检测 激光测量 波长测量 精密测量 激光干涉仪 】 2人
G01B9/02 G01B11/02
摘要：本发明涉及一种激光干涉位移测量装置及其使用方法，包括读数头、三角波反射镜，所述读数头包括激光源、第一分光镜、第二分光镜、分光棱镜、第一光电探测器、聚光透镜、第二光电探测器、处理器。本发明加入分光棱镜和第一光电探测器，避免在测量过程中，激光束的波长因环境等因素发生变化而导致最终测量结果的偏差，对激光束波长的变化进行补偿；本方案使用简单的光学器件，以及利用激光干涉原理，完成对被测物体的位移量测量工作，在保证了测量精度的情况下，还简化了装置的复杂性。
