发明 一种反射式位移传感器及其测量方法 【特价】
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G01B11/02
摘要:本发明涉及一种反射式位移传感器,包括读数头、圆弧反射镜,所述圆弧反射镜用于将接收到的激光束反射至透镜;所述读数头包括:激光器,用于发射激光束;透镜,用于将接收到的激光束聚光透射至光电探测器;光电探测器,用于接收透镜透射的激光束;处理器,用于计算光电探测器上激光束入射点之间的距离,并换算为读数头与圆弧反射镜之间的相对位移量。本发明通过移动读数头或者移动圆弧反射镜,来完成对被测物件的测量,通过透镜对激光束进行聚光,使得入射至光电探测器的激光近似平行,确保光电探测器的检测精度。本发明先将被测物件的位移变化量转化为角度变化,再将角度变化转化为位移量变化,通过光学几何关系即可得到被测物件的实际位移量。