发明 一种改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法 【特价】 仅包申请日之后年费
微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 传感器 电子元器件 1人
B23K26/362 B08B3/08 B08B3/12
摘要：本发明属于微纳米技术领域，具体涉及一种改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法，包括以下步骤，S1:使用激光雕刻机对聚合物PMMA基板进行雕刻烧蚀处理，制备所需要的烧蚀孔和烧蚀槽；S2:将雕刻完成的聚合物PMMA基板放置于三氯甲烷溶液；S3:将带有三氯甲烷溶液的聚合物PMMA基板置于超声场；S4:将聚合物PMMA基板从超声场中取出，进行光照处理；S5:待三氯甲烷挥发充分后，使用乙醇溶液清洗聚合物PMMA基板。本发明能够有效改善聚合物PMMA基板微孔、槽表面的粗糙度，提高聚合物PMMA基板微孔、槽内表面的光滑度。
