发明 一种立体式半导体晶圆自动清洗机 特价 优惠1000
硅晶片 1人
H01L21/67 B08B3/14 B08B3/02 B08B13/00 B01D29/03 B01D29/96
摘要：本发明属于半导体晶圆技术领域，尤其是一种立体式半导体晶圆自动清洗机，包括清洗槽和立式传送带，多个清洗槽活动设置在立式传送带的外表面铰接垂直分布，还包括安装在立式传送带的一侧用于锁紧清洗槽的推动机构、安装在清洗槽上的过滤装置以及防挥发装置。该立体式半导体晶圆自动清洗机，通过设置过滤装置，能够对清洗槽内的清洗液进行过滤后再次使用，减少清洗液更换的次数，防止清洗液清洗多次后影响对晶圆的清洗效果，通过过滤弧板的偏转，能够对清洗液内的杂质进行过滤，使得过滤后的水位于过滤弧板的上方，便于晶圆的清洗，从而减小对晶圆的伤害，解决了清洗槽内的清洗液需要定时更换，造成清洗液的浪费的技术问题。
