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申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
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2018100213415 |
发明
一种硅片单面处理装置 【特价】
半导体器件 硅片加工 芯片加工 晶圆加工 硅片清洗 1人 B24B7/22 B24B27/00 B24B41/00 B24B41/06 B24B55/00 B24B47/12 |
已下证 |
