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申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
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2020105432967 |
发明
一种内部球形空腔阵列稳定成形的三维光子晶体制备方法 纸质证书【特价】 仅包申请日之后年费
微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 传感器 电子元器件 1人 C30B29/06 C30B33/12 C30B33/04 C30B33/02 |
已下证 |