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申请号 专利名称 专利状态 申请日 缴费截止日 授权日 更新日
2020105432967 发明 一种内部球形空腔阵列稳定成形的三维光子晶体制备方法 纸质证书【特价】 仅包申请日之后年费
微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 传感器 电子元器件 1人
C30B29/06 C30B33/12 C30B33/04 C30B33/02
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